位置传感器 光栅数字量18bit

壳体尺寸 ∅28mm

扫描角度 40°

0.1跃阶响应 250 μs

线性度 < 0.5 mrad / 40°

零位漂移 15μrad/K

增益漂移 8ppm/K

重复性 2μrad

冷却方式 空冷